一般情况下，机器人误差分为几何误差和非几何误差。其中几何误差包括杆件参数误差，理论参考坐标系与实际基准坐标系的误差、关节轴线的不平行度、零位偏差等；非几何因素包括关节和连杆的弹性形变、齿轮间隙、齿轮传动误差、热形变等。
如果对YAMAHA机器人的几何误差进行了很好的补偿，精度就可以大大提高，只有对于特定的需精度的应用时才考虑进行非几何误差的补偿。要提高机器人的精度，可以从两方面入手，一是采用避免误差的方法，即针对产生机器人误差的各种误差源，采用高精密加工手段加工机器人各零部件，结合高精密装配技术进行装配。
二是采用综合补偿技术，即采用现代的测量手段，对所测得的数据进行分析，辅以适当的补偿算法，对YAMAHA机器人的误差进行补偿以达到减小误差的目的。由于激光加工机器人的精度要求很高，需要采用多种方法进行误差综合补偿。采用避免误差的方法。
在YAMAHA机器人的结构设计中，采用合理的结构，使YAMAHA机器人的变形尽可能小。在加工制造过程中，关键的部件采用高精度的加工技术和装配工艺。该方法对YAMAHA机器人经过运行，产生由于机械磨损、元件性能降低以及构件自身动态特性等因素带来的误差则无能为力。