真空镀膜设备冷水机有什么作用？
真空冷水机广泛应用于工业制冷，它能提供恒流、恒温、恒压，控制真空电镀设备的温度，不同工艺流程需要控制不同的温度，真空电镀设备中冷水机可以分为风冷式的冷水机和水冷式的冷水机，水冷式冷水机达到好的冷却效果加冷却水塔，风冷式冷水机对工作环境有要求，它通过热风循环制冷，通风效果的好坏直接影响到冷水机的制冷效果。
冷水机应当具备水温调节控制能力，不受气温及环境影响；性能要稳定，保证长年连续运转情况下不出现故障；节能省电，有自我调节功能，有效节约电；噪音要低，应当有缺相、错相、电流过载、高低压保护系统。真空电镀设备配备冷水机是为了达到高效率、高精度控制温度的目的以保证镀件的高质量，增加镀件的密度和平滑，缩短电镀周期，提高生产效率和改善产品的质量。
真空电镀设备专用的冷水机主要组成有：压缩机，贮液器，干燥过滤器，热力膨胀阀，蒸发器，制冷剂，冷凝器。压缩机是心脏，冷水机制冷系统通过压缩机输入电能，将热量冲低温环境排放到高温环境，制冷压缩机决定整个系统的效率。贮液器安装在冷凝器后面，于冷凝器的排液管直接连通，贮液器起到调剂和贮存制冷剂的作用。
如何保养镀膜机才能寿命更长？
真空镀膜机就是：蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且Zui终沉积在基片表面，经历成膜过程，Zui终形成薄膜。
那么在使用的我们怎么去保养他，爱护它，从而让他寿命更长呢？
一般扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，真空镀膜设备便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。
方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。
方法是：用NaOH饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触NaOH溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。
当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。
方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。
真空镀膜机薄膜均匀性概念
1.厚度上的均匀性：也能够理解为粗糙度，在光学薄膜的标准上看（也即是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜机的均匀性现已相当好，能够轻松将粗糙度操控在可见光波长的1/10范围内，也即是说关于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何妨碍。
2.化学组分上的均匀性：即是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于标准过小而很简单的发生不均匀特性，SiTiO3薄膜，假如镀膜进程不科学，那么实践外表的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的份额，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技能含量地点。
3.晶格有序度的均匀性：这决议了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技能中的热点问题。