显影曝光系统是一种用于能源科学技术领域的工艺 相比于其他工艺技术，该套系统具有分辨率高，重复性好，图案化丰富等优点，针对于背接触太阳电池和异质结背接触太阳电池的指交叉图案，可得到优良的工艺效果。显影曝光系统用于背接触太阳电池背面指交叉图案的制备。包含涂胶匀胶、烘烤、单面曝光和显影等功能单元的整套光刻显影曝光系统。
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