高精密花岗岩基板
• 铝合金工作台面，阳极硬膜处理
• Z轴 C 型架构设计，可降低阿贝误差
• 三轴采用日本三菱伺服马达控制+四轴运动控制卡
• SENTECH高解析彩色½”CCD
• NAVITAR同轴光镜头，放大倍率17.5X~112.5X
• X, Y轴移动行程600 mm x 200mm
• X, Y轴工作台面505 mm x 355mm
• LED轮廓光源、24区多区段可调式环型表光及同轴光
• 精密光学尺，分辨率0.5μm
• 线性精度X、Y 轴 (2+L/200)μm
• 重复精度 0.002 mm
• 搭配SI-901I专业影像量测软件(PI系列专属软件)
(b) 手动调针单元
• 双目镜筒10X目镜
• 手动变倍6:1
• 变倍比范围6.3x -40x
• 分辨率225lp/mm
• 工作距离89.6 mm(消色差1x物镜)
• 视野Φ 5.75 mm– 36.5 mm
• 64颗 8 段控制 LED 环型光源
产品特色
(a) 全自动光学量测，不用再目视臆测
发挥光学程序化量测优势，晶圆探针卡的OK/NG全盘清楚
(b) 单机整合双功能设计
晶圆探针卡调整部分可以自动定位，针卡偏移方向清楚，方便调整正确方向
