PFA的透明程度高,可以观察管道内情况,但PFA管的可挠性小,尤其对大口径PFA管几乎不能弯折,
为此可制成螺旋形管,提高它的柔性。若在PFA管外以不锈钢丝编织增强,能制成液压软管。
集成电路(IC)在几平方毫米的硅片表面要安装众多的晶体管、阻抗和电容等元件。随着电子设备高性能化、
小型化的发展,集成电路的集成度越来越高,朝大规模集成电路(LSI)和超大规模集成电路(UI。SI)方向发展。
在半导体元件集成度提高的对制造它设备的材料提出了高耐蚀、高耐热和高纯度的要求。PFA 具备满足这“
三高”的技术要求且有良好的成型性,PFA成为半导体工业各种生产过程所用设备的原材料。
LSI的制造要经过单晶硅片的表面氧化处理、照相制版处理、掺杂处理和蒸汽处理等工序,这些工序中又要经过侵蚀
、洗净处理等,都要使用PFA制品。侵蚀处理是把插在托架上的单晶硅片放人吊篮内浸入侵蚀液中,以溶解不受保护的Sioz等
.侵蚀过程中硅晶片的托架(承载器)多用PFA制成,理由是上述酸、碱的腐蚀性强,若托架受到侵蚀则会污染硅晶片,
且处理温度高,在高温下还需有一定的机械强度和尺寸稳定性、不黏性,托架的形状复杂,需能注射成型。
半导体工业中应用的PFA制品除托架、吊篮等各种形状的容器外,还有直径6-50mm的管子、管配件、阀、泵、
流量计和过滤器等。LSI和ULSI用的半导体制品需防外界污染,提高产品合格率,为此所用的管道、设备都不允许污染超纯水和药液
PFA牌号:340 345 350
416HP 420HP 920HP 440HP
940HP 445HP 945HP 450HP
950HP 超级铁氟龙
451HP 951HP plus
日本旭硝子