现在市面上会应用到无油真空泵的地方是非常多的，这种泵无任何工作液。能保证被抽空间清洁,对周围环境没有污染, 有人称之为“绿色”真空泵。使用它可以提高产品质量。东莞台冠环保真空泵商家介绍无油干式真空泵的应用分布。
一、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中。
二、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。
三、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，东莞台冠夹具微型真空泵批发建议则用一定型式的干式机械真空泵就可以满足要求。
四、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵.。
五、 用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
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