应用范围
适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、刻蚀、清洗、镀膜。
产品特点与优势
1、小技巧、操作简单、易维护。
2、引进德国核心等离子技术,质量有保障。
3、进口针阀精密流量控制计,精度高。
4、材质耐腐蚀,环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。
6、可以根据客户需求定制。
等离子刻蚀机的工作原理
等离子刻蚀机利用等离子体中的活性离子和自由基对材料表面进行刻蚀。等离子体是由气体在高电场或高温下电离产生的,其中包含大量的电子、离子、自由基和中性粒子。当等离子体与材料表面接触时,活性离子和自由基会与材料表面的原子发生化学反应,将其从表面去除,从而实现刻蚀的目的。