Halar 500LC 挤出成型ECTFE料
半导体管道系统应用
Halar ECTFE 纯度、表面光滑度、耐化学性和耐火性是管道系统涂层和湿式工具结构半导体市场的关键特性。
Halar ECTFE 在半导体环境中提供卓越的结果。我们的 Halar 粉末用作排气管、容器和工艺设备的涂层材料。HalarECTFE 粉末涂料已成功用于必须满足 FM4922 消防安全标准的排气管道系统的消防安全和防腐蚀保护。Halar ECTFE涂层管道系统具有出色的表面光滑度，可降低污染积聚和腐蚀的风险。
近年来，开发了新的 Halar ECTFE 粉末涂料等级，为客户提供额外的好处：在这些产品中，有一种无底漆的 HalarECTFE 涂料
对于 Semicon 湿法工艺设备， Halar® ECTFE 可满足苛刻的洁净室设备应用需求：
晶圆无污染（例如，通过溶解在蚀刻剂中）
与经常更换不太耐用的材料相比，总体拥有成本更低
能够在整个工具使用寿命期间普遍承受各种蚀刻化学品
符合FM 4910消防安全标准，满足耐着火、不蔓延、低烟产生的要求
