1.预喷淋:为了提高后面显影液在硅片表面的附着性能,先在硅片表面喷上一点去离子水。
2.显影喷淋:在硅片表面涂覆显影液。为了将显影液均匀地涂覆到硅片表面上,显影喷嘴分为以下几种:E2喷嘴,LD喷嘴,GP喷嘴,MGP喷嘴等。
3.显影液表面停留:为了让显影液与光刻胶进行充分反应,显影液喷淋后需要在硅片表面停留一般为几十秒到一两分钟。
4.显影液去除并且清洗:达到显影时间后,保温杯曝光显影设计,使用DIW立即冲洗晶圆表面。去离子水不仅可以使显影过程终止,而且会把显影后缺陷颗粒冲洗掉。在冲洗过程中,晶圆旋转产生的离心力也对去除表面颗粒有很大的帮助。图1.13是一个典型的去离子水冲洗工艺。
5. 甩干:为了将表面的去离子水甩干,将硅片转到高转速
通常如今多见的蚀刻加工技术都是为了保证不锈钢资料在运用等过程中不会氧化生锈,假如是运用这类不锈钢作为装饰资料的话大都都是需求上色处理,详细上色处理可以运用化学方法或许是电解方法来对不锈钢蚀刻加工产品进行上色,保温杯曝光显影厂,这么就可以让不锈钢呈现美丽的色彩。如今许多的室表里装饰资料傍边都现已开端很多运用不锈钢蚀刻加工资料作为装饰,首要也是由于不锈钢本身具有的多种优势,保温杯曝光显影加工,比如在价格方面低价,在运用过程中寿命长,不需求长时间的精心护理等。
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